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    產品展示

    產品名稱:光學3D表面輪廓儀
    市場價:元
    產品詳情
    影像系統:1024×1024(2048×2048,2592×1944可選)
    光學Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
    干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
    XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電控
    XY橫向分辨率:≤0.4μm
    Z軸行程:≥100mm
    Z向分辨率:0.1nm
    單次Z向掃描范圍:10.3mm,厚度重復性≤1nm
    Z向掃描速度:≥45μm/s
    可測樣品高度:≥100mm
    可測樣品反射率:0.05%-100%
    水平調整:±5°
    粗糙度RMS重復性:0.005nm
    臺階高測量:準確度<0.7%,重復性<0.1% 1σ
    主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
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